MCS51 จะมีหน่วยความจำข้อมูลภายในสำหรับการใช้งานเพิ่มมากขึ้นกว่าเบอร์อื่นๆ เช่น 8031 หรือ 8751 อีก 128 Byte โดยจะอยู่บริเวณช่วง Address 80h – FFh ซึ่งถึงแม้ว่าจะเป็นพื้นที่ที่มีหลายเลข Address เดียวกับส่วนของรีจิสเตอร์หน้าที่พิเศษ แต่ในความเป็นจริงแล้วจะเป็นพื้นที่หน่วยความจำในอีกบริเวณหนึ่ง ซึ่งมีการซ้อนเกย (Overlap) กันให้อยู่ในบริเวณ Address ส่วนนี้ ซึ่งหากว่าต้องการนำไปใช้งานก็จะต้องใช้การอ้าง Address แบบโดยอ้อม Indirec Addressing เท่านั้น
